Оптична мікроелектронна очищення інженерії визначається як виключення частинок пилу, шкідливого повітря, бактерій та інших забруднюючих речовин у повітрі в певному просторі, а також контролю температури та вологості в приміщенні, чистоти, внутрішнього тиску, швидкості потоку повітря та розподілу потоку повітря, шуму, вібрацій та освітлення, статичної електроенергії в певному вимоговому діапазоні, а спеціально розробленому закритому просторі.
Оптична мікроелектронна очищення інженерії, також відома як безпилова кімната або чиста кімната, в даний час є важливим об'єктом для напівпровідників, точного виробництва, рідкокристалового виробництва, оптичного виробництва, виробництва плат і біохімічної, фармацевтичної та харчової промисловості. Останніми роками завдяки інноваційному розвитку технологій, потреба в високоточній продукції та мінімалізації є більш терміновою, наприклад, дослідження та виробництво надвеликих інтегративних схем стали найважливішим проектом у науковому та технологічному розвитку у всіх країнах світу, а концепція проектування та технологія будівництва нашої компанії займають лідируючу позицію в галузі.
Оптичні мікроелектронні очищення інженерії, як правило, включають:
1 Чистий виробничий район
Чиста допоміжна кімната (включаючи кімнату для очищення персоналу, кімнату для очищення матеріалів та частину вітальні кімнати тощо)
Управління (включаючи офіс, службу, управління та відпочинок тощо)
4, область обладнання (включаючи застосування систем очищення кондиціонування повітря, електричні кімнати, кімнати з високою чистотою води та газу, кімнати з холодним тепловим обладнанням)
Принцип очищення оптичної мікроелектронної очищення
Поток повітря → первісне очищення → кондиціонер → середньоефективне очищення → вентилятор подачі повітря → трубопроводів → ефективне очищення повітря → надихати в кімнату → видалити пилові бактерії
Інші частинки → вітряні жалюзі → початкове очищення Повторіть вищезазначений процес, щоб досягти мети очищення.
Параметри очищення оптичної мікроелектронної очищення
Кількість змін повітря: 100 000 класів ≥ 15 разів; 10000 класу ≥20 разів; 1000 ≥ 30 разів. Різниця тиску: основна майстерня до сусідніх кімнат ≥5Pa
Середня швидкість вітру: 10 ступенів, 100 ступенів 0,3-0,5 м / с; Температура зимою 16°C; влітку 26°C; Валюації ± 2 ° C.
Температура 45-65%; GMP порошок майстерні вологість приблизно 50%; Вологість в електронній майстерні трохи вища, щоб уникнути виробництва статичної електроенергії.
Шум ≤65 дБ (А); Новий вітер складає 10-30% від загального обсягу повітря; Світлення 300LX.