КокристалТри цілі магнетронний розпилювач

Модель:VTC-600-3HD

Огляд продукту:

VTC-600-3HD трицільний магнетронний розпилювач єzuiНово розроблене обладнання для покриття, яке може бути використано для підготовки одношарної або багатошарової фероелектричної плівки, електропровідної плівки, сплавної плівки, напівпровідникової плівки, керамічної плівки, середньої плівки, оптичної плівки, оксидної плівки, жорсткої плівки, політетрафторвінілової плівки тощо. У порівнянні з аналогічним обладнанням, він не тільки широко застосовується, але й має переваги невеликого розміру для зручності роботи, є ідеальним обладнанням для лабораторної підготовки тонкої плівки матеріалу, особливо підходить для лабораторних досліджень твердих електролітів та OLED.

Основні особливості:

• Можна приготувати різні пленки, широко застосовуються
• Малий розмір, проста робота
• Модульна конструкція вакуумної камери, комплектуючої машини для вакуумних насосів, управління енергопостачанням є розділеною конструкцією, яка може коригувати потреби покупки відповідно до фактичних потреб користувача.
• Можна вибрати джерело енергії в залежності від фактичних потреб користувача, може бути один джерело енергії для управління кількома цільовими гарматами, а також кілька джерел енергії для управління однією цільовою гарматою

Магнітронна розщеплювальна головка：

• У приладі встановлені 3 магнетронні розпилювальні головки з водяним охолодженням
• Одна з розпилювальних голов підключена до радіочастотного джерела живлення, в основному розпилювальна ізоляційна мішень
• Інша розпилювальна головка підключена до джерела живлення постійного струму, основна розпилювальна провідна мішень
• Вимоги до розміру цілі: діаметр 50 мм, товщина 0,1-5 мм (завдяки різній товщині матеріалу цілі)
• Кабель з'єднання RF можна замовити окремо як запас
• Установлення містить водяний охолоджувач для охолодження головки цілі

Носитель зразків：

• Розмір: φ140 мм (zuiВеликий може бути розміщений 4 'підстава)
• Носитель проб може обертатися з швидкістю від 1 до 20 об/хв (регулюється)
• Носитель зразківzuiВисока температура нагрівання 500 ° C

Вакуумні камери：

• Вакуумна камера: φ300 мм × 300 мм В, з нержавіючої сталі
• Вікно спостереження: Φ100 мм
• Відкриття камери з верхньою частиною, що полегшує зміну цілі

Контролер потоку газу：

• Внутрішній пристрій встановлений з 2 масовими потокометрами, діапазон: 0-100sccm
• Налаштування потоку газу працює на сенсорному екрані 6 дюймів
• Для роботи цієї системи потрібен газ Ar, а на цилиндрі встановлений клапан зниження тиску (не включений в пристрій)

Вакуумна система：

• Молекулярна насосна система GZK-103D (виробництво Німеччини)
• Стандартна межа 5E-5mbar 7.4E-6mbar

Вимірювання товщини пленки：

• На приладі встановлений точний кварцовий вібраційний толщиномірник для моніторингу товщини плівки в режимі реального часу з роздільною здатністю 0,10 Å
• Світлодіодний дисплей відображає, а також вводить відповідні дані про виготовлену плівку

Розміри продукції：

• L1300mm×W660mm H1200mm
• Чиста вага: 160 кг

КокристалТри цілі магнетронний розпилювач

Модель:VTC-600-3HD

Сертифікація якості:Сертифікація CE

Використання порад：

• Цей пристрій є пристроєм DIY, параметри змінюються значно перед покупкою, будь ласка, переконайтеся, що телефон уважно спілкуватися
• Для того, щоб отримати кращу якість плівки, необхідно ввести високочистий газ (рекомендовано > 5N)
• Перед розпилюванням покриття переконайтеся, що розпилювальна головка, ціль, підстава та стіл для зразків чисті
• Щоб досягти хорошого поєднання пленки з підлогою, очистити поверхню підлоги перед розпилюванням
• Ультразвукова очищення (детальні параметри натисніть на зображення нижче): (1) Ацетонова ультразвук (2) Ізопропанол ультразвук - видалення жиру (3) піддувати азот для суші (4) Вакуумна печ для видалення вологи.
• Чищення плазми: може бути грубий поверхні, може активувати поверхневі хімічні зв'язки, може видалити додаткові забруднювальні речовини.
• Виробити тонкий буферний шар (близько 5 нанометрів): такі як Gr, Ti, Mo, Ta, можуть застосовуватися для поліпшення клеєння металів і сплавів.

Попередження：

• Примітка: Внутрішній продукт встановлюється з високонапруговими компонентами, забороняється приватна демонтажа, переміщений корпус з електричним зарядом
• На газовий цилиндр слід встановити клапан зниження тиску (стандартне обладнання не включено), щоб забезпечити обмеження вихідного тиску газу на 0,02 МПаДля безпечного використання
• Голова розпилювання підключена до високої напруги. Для забезпечення безпеки оператор повинен вибрати зразок і замінити ціль перед вимиканням пристрою.