Система випробування просторової роздільної здатності LIBS в мікроном масштабі — MEEPLIBS
MEEPLIBS може проводити елементарний аналіз просторової роздільності в мікроном масштабі, досягнувши в поєднанні з традиційним мікроскопом, стандартний аналітичний калібр розмірів 15 мікронів і 18 мікронів (зуі може досягти 4 мікронів), може бути випробуваний в атмосферному середовищі при кімнатній температурі або в певному середовищі.
Широко використовується для аналізу елементів в режимі реального часу з просторовою роздільною здатністю мікронометрів напівпровідникових матеріалів та панельних матеріалів.
Особливості системи:
Джерело світла: 266nm ультрафіолетовий лазерний джерело світла
Функція формації лазерного променя з амбіатором, регулюється програмне забезпечення для лазерної потужності
Автоматичне регулювання температури для систем виявлення
Налаштування камери в системі, щоб користувач міг спостерігати за зоною зразка в режимі реального часу
Конфігурація електричного тривимірного регулятора для калібрування лазерного фокусування, підвищення точності повторюваності експериментів та послідовного вимірювання зразків
Можна аналізувати вимірювання всіх елементів, включаючи масу Zui Light
Без попередньої обробки зразка, швидке виявлення